AI檢測半導體晶圓切割位置與自動化校正

AI_Inspection

晶圓切割位置依賴人工校正,耗用人力與時間

晶圓為高科技與高價值產品,每個製程的控管都必須嚴謹,若出現生產異常而影響晶圓良率或有報廢情形,造成的損失很高。在半導體製程中,晶圓切割屬於後段製程,目的是將完整的晶圓切割成單一小片晶圓,當晶圓切割機檢測到切割位置偏移時,會發出檢測異常通知,此時,校正程序會以人工方式進行遠端控制,在校正流程完成後持續切割作業。切割位置偏移依賴人工校正,並非自動化流程,因此花費時間與人力調整設備參數直到校正完成。

邊緣AI系統滿足晶圓切割檢測及自動化校正的需求: 高精確度、高效率

邊緣AI系統提供晶圓切割檢測解決方案,藉由自動化技術解決人工校正晶圓切割位置的問題,並透過AI提升切割位置的檢測精準度,在作業效率和節省人力上取得進展。在應用案例中,工業相機在光源輔助下取得切割位置的圖像資訊,圖像從晶圓切割機經由交換器 (Switch) 傳輸至邊緣AI系統,邊緣AI系統對圖像資訊進行分析與比對,確認晶圓切割位置是否有偏移情況,若是異常,邊緣AI系統則會啟動校正程序,操作切割機自動執行校正流程。

PJAI-100-ON 適合半導體晶圓切割應用

PJAI-100-ON 是一款適用半導體晶圓切割檢測與自動化校正的邊緣AI系統,搭載 NVIDIA® Jetson Orin Nano™ SOM,能快速與精確檢測切割位置偏移與否。系統配備 4GB/8GB 的 LPDDR5 內存,能確保快速的檢測能力與自動化校正控制等多工任務。在連接性方面,提供 M.2 插槽以支援 NVMe 存儲,提升數據處理速度,並配有雙 RJ45 GbE 接口對應交換器與伺服器的連接,可同時兼顧圖像資訊傳輸、切割校正控制與資料備份的需求。另有具備 USB 及 COM 接口可做為其他設備連接需求的擴充。此應用案例的架構配備三台邊緣AI系統,每台系統透過交換器連接多台晶圓切割機,能夠進行AI檢測,也能進行自動化校正,使檢測過程更加精準且高效。

瑞傳科技的加值服務提升客戶價值 : DMS、RPET

瑞傳科技全方位的DMS服務透過設計、製造和服務的過程協助客戶提升價值,幫助客戶應對各種應用場景與市場多樣化需求。瑞傳科技 RPET 為跨系統跨平台的API和應用程式,從系統監控、設備控制到遠端管理,其簡化的系統設計提升物聯網的應用能力,使客戶能輕鬆構建物聯網解決方案。其全方位遠端管理,提供系統狀態全面監控並支援韌體更新功能,確保系統運行穩定和高效,以因應管理效率的需求提升與遠端系統的存取應用日益增加。

Stay up-to-date with the latest news.

Subscribe

Press Releases Subscribe Form